OXIDATION OF METALLIC FILMS

摘要

금속성 막의 수용성 산화에 대한 방법이 설명된다. 예컨대, 실리콘 기판 상의 하프늄 금속의 막은 뜨거운 탈염수를 이용하여 하프늄 이산화물로 산화될 수 있다. 산화된 금속성 막을 이용하여 커패시터 및 전계 효과 트랜지스터와 같은 전기 컴포넌트를 제조하기 위한 방법이 또한 설명된다. 예컨대, 하프늄 이산화물 유전체 층을 가지는 커패시터가 제조될 수 있다.