一种针测机承载盘的降温装置

摘要

本发明公开了一种针测机承载盘的降温装置，包括风机、进气管、压缩空气开关、进气接口、中空密封装置、承载盘，所述风机与进气管、压缩空气开关依次连接，所述进气接口安装在中空密封装置上，所述压缩空气开关通过连接管与进气接口相连，所述中空密封装置的下表面开设有出气孔，所述出气孔的下方固定有所述承载盘。本发明降温装置，通过风机、进气管、压缩空气阀门、连接管、中空密封装置构成外部吹气装置对承载盘进行吹气降温，具有结构简单、使用方便、降温效果好的特点；能够有效地避免降温过程导致的承载盘磕碰；能够清除针测机承载盘上存留的灰尘或其他颗粒，有效地避免存留颗粒造成的暗裂和破片风险。

主权项

一种针测机承载盘的降温装置，其特征在于：包括风机、进气管、压缩空气开关、进气接口、中空密封装置、承载盘，所述风机与进气管、压缩空气开关依次连接，所述进气接口安装在中空密封装置上，所述压缩空气开关通过连接管与进气接口相连，所述中空密封装置的下表面开设有出气孔，所述出气孔的下方固定有所述承载盘。