一种提高太阳能电池表面钝化的方法

摘要

本发明公开了一种提高太阳能电池表面钝化的方法，按照如下步骤进行：A将硅片置于一定浓度酸性或碱性溶液中进行清洗制绒处理；B将制绒后的硅片置于石墨舟中，放入管式PECVD设备，进行氢离子钝化；C钝化过程中，管式PECVD不需要通入硅烷，在等离子体作用下只通入一定流量的氨气，即可实现钝化过程。本发明的有益效果是通过氢离子的钝化作用，提高硅片的少子寿命，减少硅片表面的悬挂键和晶体缺陷，钝化工艺时间短，方法简单易操作，同时达到提高太阳能电池片的光电转换效率的目的。

主权项

一种提高太阳能电池表面钝化的方法，其特征在于按照如下步骤依次进行：A将硅片置于一定浓度酸性或碱性溶液中进行清洗制绒处理；B将制绒后的硅片置于石墨舟中，放入管式PECVD设备，进行氢离子钝化；C钝化过程中，管式PECVD不需要通入硅烷，在等离子体作用下只通入一定流量的氨气，所述管式PECVD的输出功率为4500～5500W，钝化温度为450±5℃，压力为1700±100mTorr，氨气流量为7±2slm，占空比为5：50，处理时间为10～15min。