发明名称 从微观结构选择性地蚀刻金属层的方法
摘要 本发明涉及蚀刻微观结构的金属层的一部分的方法,该微观结构由设置在透明导电氧化物(TCO)层上的金属层构成,并且具体地涉及选择性地蚀刻金属层的部分并且不蚀刻TCO层。
申请公布号 CN106537300A 申请公布日期 2017.03.22
申请号 CN201580016330.2 申请日期 2015.01.30
申请人 3M创新有限公司 发明人 穆图·塞巴斯蒂安
分类号 G06F3/041(2006.01)I 主分类号 G06F3/041(2006.01)I
代理机构 北京天昊联合知识产权代理有限公司 11112 代理人 王静;丁业平
主权项 一种选择性地蚀刻微观结构的金属层的一部分的方法,其中所述微观结构由设置在透明导电氧化物(TCO)层上的所述金属层构成,所述方法包括使所述微观结构与蚀刻剂制剂接触,所述蚀刻剂制剂包含卤化铜与胺和/或铵化合物的溶液的混合物。
地址 美国明尼苏达州