| 摘要 |
コイル部１０は、交流信号で励磁される１次コイル１１と、該１次コイルによる誘導出力を生じるように配置された２次コイル１２〜１５とを含む。インダクタンス要素とコンデンサによって構成された自励発振回路２０は、前記１次コイル１１を自励発振のためのインダクタンス要素としてその回路内に組み込んでいる。ターゲット部１は、検出対象位置に応じてコイル部１０との相対的位置が変位するよう配置され、この相対的位置に応じて２次コイル１２〜１５のインダクタンスを変化させるように構成された磁気応答部材を含む。２次コイル１２〜１５の出力信号の振幅レベルを抽出し、これに基づき検出対象の位置データを得る。【選択図】 図１ |
