感光性樹脂組成物、硬化膜の製造方法、硬化膜、液晶表示装置および有機ＥＬ表示装置

摘要

硬化膜としたときの耐薬品性が良好であり、比誘電率が低い感光性樹脂組成物、硬化膜の製造方法、硬化膜、液晶表示装置および有機ＥＬ表示装置を提供する。酸基が酸分解性基で保護された基を有する構成単位および架橋性基を有する構成単位を有する重合体、酸基が酸分解性基で保護された基を有する構成単位を有する重合体および架橋性基を有する構成単位を有する重合体の少なくとも一方を満たす重合体を含む重合体成分、下記（Ｓ）成分、光酸発生剤、溶剤を含有する感光性樹脂組成物；（Ｓ）成分：直鎖または分岐の炭素数６〜２０の脂肪族炭化水素基（脂肪族炭化水素基中に−Ｏ−、−Ｓ−、環状のアルキレン基およびアリーレン基から選択される少なくとも１つの基を有していてもよい；ただし、−Ｏ−、−Ｓ−、環状のアルキレン基およびアリーレン基から選択される基を２つ以上有する場合、この２つ以上の基は隣接していない）と、アルコキシシラン基、ブロックイソシアネート基、ブロックイソチオシアネート基、ブロックケテン基、イソシアネート基、イソチオシアネート基、チオール基およびオキサゾリン基、または、エステル基、チオエーテル基、ジスルフィド基、アミド基およびウレタン基から選択される少なくとも１つを有する基を有し、カルボキシル基およびアルコール性水酸基を有さず、また、重合体成分の酸基と反応しても、カルボキシル基およびアルコール性水酸基を発生させない化合物。