| 摘要 |
금속 실리콘과 염화수소의 반응에 의해 트리클로로실란을 제조할 때에, 반응 생성 가스로부터 트리클로로실란을 응축 분리한 후의 배기 가스를 효과적으로 재이용하여 트리클로로실란을 효율 좋게 공업적으로 제조하는 방법을 제공한다. 금속 실리콘에 염화수소를 반응시켜 트리클로로실란을 생성시키는 제1 제조 공정과, 금속 실리콘에 테트라클로로실란 및 수소를 반응시켜 트리클로로실란을 생성시키는 제2 제조 공정을 서로 독립적으로 포함하고, 상기 제1 제조 공정에 의해 얻어진 트리클로로실란을 포함하는 반응 생성 가스로부터 상기 트리클로로실란을 응축 분리하고, 트리클로로실란이 응축 분리된 후의 배기 가스를 수소원으로서 제2 제조 공정에 공급하는 것을 특징으로 한다. |
