一种基于柱形电场分析器的磁偏转质谱计

摘要

本发明公开了一种基于柱形电场分析器的磁偏转质谱计，属于仪器仪表技术领域。磁偏转质谱计主要包括离子源，第一狭缝，柱形电场分析器，第二狭缝，磁场分析器和离子流检测器；其中，柱形电场分析器和磁场分析器之间反向串联；该磁偏转质谱计能够使得磁场和电场产生的能量色散相互抵消，从而使得磁偏转质谱计具有能量和方向双重聚焦的能力，大大提高其分辨本领。

主权项

一种基于柱形电场分析器的磁偏转质谱计，其特征在于：所述磁偏转质谱计主要包括离子源(1)，第一狭缝(2)，柱形电场分析器(3)，第二狭缝(4)，磁场分析器(5)和离子流检测器(6)；其中，所述柱形电场分析器(3)和磁场分析器(5)之间反向串联；所述磁场分析器(5)的离子束出射最大偏转角γ_max满足式(Ⅰ)所示关系，曲面半径r满足式(Ⅱ)所示关系；所述离子源(1)与第一狭缝(2)之间的距离d₁，所述磁场分析器(5)端面与第二狭缝(4)的距离d₁满足式(Ⅲ)所示关系；所述电场分析器的偏转角Φ满足式(Ⅳ)所示关系；$\frac{\pi }{4}\le {\gamma }_{\max }\le \frac{\pi }{3}---\left(I\right);$$R_{\max }\le r\le \frac{R_{\max }^2}{R_0}\tan \left(\frac{3{\gamma }_{\max }}{2}\right)---\left(II\right);$$0\le d_1\le \frac{1}{3}{R}_{max},0\le d_2\le \frac{1}{2}{R}_{max}---\left(III\right);$$\frac{1}{2}{\gamma }_{max}+\frac{\pi }{8}-\frac{\pi }{18}\le \Phi \le \frac{1}{2}{\gamma }_{max}+\frac{\pi }{8}---\left(IV\right);$其中，所述R₀表示柱形电场分析器的曲率半径，所述R_max表示离子束出射最大偏转半径。