ELECTRODE SYSTEM IN PARTICULAR FOR GAS DISCHARGE LIGHT SOURCES

摘要

본 발명은 특히 EUV 방사 및/또는 소프트 X-레이들을 발생하기 위한 가스 방전 디바이스의 전극 시스템에 관한 것이다. 전극 시스템은 주성분으로서 Mo, 또는 W, 또는 Mo 또는 W의 합금을 포함하는 전극 물질로 형성되는 적어도 2개의 전극(1, 2)을 포함한다. 전극 물질은 평균 사이즈가 <500nm인 미립자들을 갖는 미립자 구조를 갖는다. 제안된 전극 시스템에 의하면, 전극들의 높은 열기계 및 열화학 저항이 실현된다. 따라서 전극 시스템은 액체 Sn을 이용하고 고온에서 동작되는 알려진 EUV 광원들에서 이용될 수 있다.