| 摘要 |
【課題】脆性材料から構成されるワークに対しても、クラックや割れを発生させることなく、延性モードで安定して精度良く切断加工を行うことができるダイシング装置を提供する。【解決手段】ワークを切断ないし溝入れ加工するダイシング装置であって、ダイヤモンド砥粒同士の焼結結合体である多結晶ダイヤモンドによって円盤状に構成されたブレード２６を備え、ブレード２６の外周部には断面形状がストレート状に形成された切刃部４０Ｃが設けられ、ブレード２６によってワークに一定の切り込み深さを与えながら、ブレード２６を回転させつつワークをブレード２６に対して相対的に移動させることにより加工を行う。【選択図】図４Ｃ |
