| 摘要 |
본 발명은 반도체 소자 및 그 제조방법을 제공한다. 이 반도체 소자는 기판 상에 제공된 활성영역, 상기 기판의 일측에 매립된 단일 공동으로 구성된 유입 채널, 상기 기판의 타측에 매립된 단일 공동으로 구성된 유출 채널, 상기 기판에 매립된 다수의 공동들로 구성되며 일단은 상기 유입 채널의 측면에 연결되고 타단은 상기 유출 채널의 측면에 연결되는 복수개의 마이크로 채널들을 포함하는 마이크로 채널 어레이, 및 상기 마이크로 채널들을 이격시켜 구분하는 마이크로 히트 싱크 어레이를 포함할 수 있다. |
