Abrasive particles Polishing slurry and fabricating method of abrasive particles

摘要

본 발명은 연마 입자, 연마 슬러리 및 연마 입자의 제조 방법에 관한 것이다. 본 발명 실시 형태에 따른 연마 입자의 제조 방법은, 제1 전구체 및 제1 전구체와 상이한 제2 전구체가 혼합된 전구체 용액을 마련하는 과정, 염기성 용액을 마련하는 과정, 염기성 용액과 전구체 용액을 혼합하고 침전물을 생성하는 과정, 및 침전으로 합성된 연마 입자를 세정하는 과정을 포함한다.