一种旋转均匀受热式微探针尖端热成形装置

摘要

本实用新型公开了一种旋转均匀受热式微探针尖端热成形装置，涉及微探针尖端加工制造领域。该装置包括：CO₂激光器、合束镜、红光指示器、聚焦镜、定位夹具、旋转平台、微探针支架和位移平台。所述的激光器发出的激光经过聚焦镜的作用后汇聚在聚焦镜的右侧焦点a处，所述的微探针毛坯的待加工区域通过位移平台的驱动调整到a点处，同时微探针毛坯再在旋转平台的驱动下绕其轴线旋转，使待加工区域均匀受热。采用上述方法对微探针进行热加工，能够使微探针尖端均匀受热，提高热应力分布均衡性，加工后的微探针不弯曲、不变形，具有高几何对称精度和尖端形貌。

主权项

一种旋转均匀受热式微探针尖端热成形装置，包括CO₂激光器（1）、合束镜（2）、红光指示器（3）、聚焦镜（4）、微探针支架（8）和位移平台（9），其特征是：还包括定位夹具（5）和旋转平台（7）；    所述的CO₂激光器（1）的光轴与Y轴平行，聚焦镜（4）的主光轴与Y轴重合；在CO₂激光器（1）和聚焦镜（4）之间设置有合束镜（2），合束镜（2）的入射面与Y轴呈45度角；CO₂激光器（1）的激光经过合束镜（2）后，其光轴与Y轴重合；合束镜（2）的下方设置有红光指示器（3）；聚焦镜（4）的右侧设置有位移平台（9）；微探针支架（8）的一端固定在位移平台（9）的工作表面上，另一端连接有旋转平台（7）与定位夹具（5）。