含CrAlVN层和CrAlSiN层的复合涂层刀具及其制备方法

摘要

本发明公开了一种含CrAlVN层和CrAlSiN层的复合涂层刀具及其制备方法。该复合涂层刀具包括刀具基体和沉积于刀具基体上的复合涂层，复合涂层包含有一交替沉积所述CrAlVN层和CrAlSiN层的周期性涂层，CrAlVN层和CrAlSiN层共格外延生长成超点阵结构。制备方法包括将刀具基体进行预处理，然后选择性沉积过渡层，再沉积CrAlVN层和CrAlSiN层的周期性涂层，得到复合涂层刀具。本发明的复合涂层刀具具有自润滑性、高硬度、高热性能及低摩擦系数等优点，存在CrAlSiN层和CrAlVN层的共格界面，制备方法工艺简单、设备常规、生产成本低。

主权项

一种含CrAlVN层和CrAlSiN层的复合涂层刀具，包括刀具基体和沉积于刀具基体上的复合涂层，其特征在于，所述复合涂层包含有一交替沉积所述CrAlVN层和CrAlSiN层的周期性涂层，所述CrAlVN层和CrAlSiN层共格外延生长成超点阵结构；所述周期性涂层中，所述CrAlVN层的单层厚度为2nm～15nm，所述CrAlSiN层的单层厚度为2nm～15nm；所述CrAlVN层中V元素的原子百分数为1%～20%，Al元素的原子百分数为30%～70%；所述CrAlSiN层中Si元素的原子百分数为1%～15%，Al元素的原子百分数为30%～70%；所述周期性涂层的总厚度为2μm～12μm。