| 发明名称 | 多晶硅脱胶装置 | ||
| 摘要 | 本实用新型提供一种多晶硅脱胶装置，涉及半导体器件制造技术领域，包括依次连接的除尘装置、浸洗装置、预热装置、脱胶装置、清洗装置和烘干装置，提供了一整套的脱脂装置，可以对多晶硅进行全方位高效脱脂。 | ||
| 申请公布号 | CN205324218U | 申请公布日期 | 2016.06.22 |
| 申请号 | CN201620012030.9 | 申请日期 | 2016.01.07 |
| 申请人 | 浙江谷高光伏科技有限公司 | 发明人 | 张明河;张一麦 |
| 分类号 | B08B1/00(2006.01)I;B08B3/10(2006.01)I;B08B5/04(2006.01)I;B08B13/00(2006.01)I;F26B21/00(2006.01)I | 主分类号 | B08B1/00(2006.01)I |
| 代理机构 | 代理人 | ||
| 主权项 | 一种多晶硅脱胶装置，其特征在于，包括依次连接的除尘装置、浸洗装置、预热装置、脱胶装置、清洗装置和烘干装置。 | ||
| 地址 | 312300 浙江省绍兴市杭州湾上虞工业园区 | ||