流量控制阀和使用该流量控制阀的质量流量控制装置

摘要

本发明提供一种流量控制阀，该流量控制阀在流路与层叠压电驱动器的中间设置由热导率为20W/mK以下的材料形成的第1热屏蔽件和由空间形成的第2热屏蔽件，优选的是，进一步设置热导率为20W/mK以下的第3热屏蔽件。由此，即使在高温的工艺气体中使用的情况下，也能够使用比现有技术的流量控制阀简单且小型化的构造来有效地阻断热量的传递，从而使层叠压电驱动器的温度不超过其耐热温度。

主权项

一种流量控制阀，该流量控制阀包括：基部，在该基部设有流体的流路；阀座，其为环状，该阀座与所述流路相连通且该阀座具有面向所述基部的一个表面的开口部；隔膜，其包括以覆盖所述阀座的开口部的方式配置的薄板状的弹性体；环状构件，其隔着所述隔膜地位于与所述阀座相反的一侧，该环状构件将所述隔膜的外周部按压于所述基部从而固定所述隔膜；隔膜垫片，其隔着所述隔膜地位于与所述阀座相反的一侧，该隔膜垫片通过使所述隔膜的中央部向所述阀座的方向或与所述阀座的方向相反的方向位移从而对所述阀座的开口部的开度进行控制；层叠压电驱动器，其层叠有多个压电元件；以及应力传递部件，其将因所述层叠压电驱动器的膨胀而产生的应力传递至所述隔膜垫片，该流量控制阀的特征在于，所述环状构件和所述隔膜垫片均由热导率为20W/m·K以下的材料形成，所述环状构件和所述隔膜垫片构成第1热屏蔽件，由所述第1热屏蔽件和所述应力传递部件围成的空间构成第2热屏蔽件。