发明名称 Messanordnung zur Reflexionsmessung
摘要 Die Erfindung betrifft eine Messanordnung zur Erfassung eines absoluten Reflexionsspektrums einer Probe (04, 21, 42, 54, 66) in einem Produktionsprozess der Probe (04, 21, 42, 54). Sie umfasst eine Lichtquelle zur Erzeugung vom Messlicht, einen Homogenisator zur Erzeugung einer gleichmäßigen räumlichen Beleuchtungsstärkeverteilung des Messlichtes; einen beweglichen Reflektor (6, 16, 39, 52, 59, 62) und einen Empfänger (07, 22, 37, 53) zum Einsammeln des von der Probe (04, 21, 42, 54) und/oder dem Reflektor (6, 16, 39, 52) reflektierten Messlichtes. Erfindungsgemäß ist der Reflektor (6, 16, 39, 52, 59, 62) sowohl für eine Referenzmessung, als auch für eine Probenmessung in einem Beobachtungsstrahlengang positioniert und auf der selben Seite der Probe (04, 21, 42, 54, 66) wie die Lichtquelle angeordnet, um das reflektierte Messlicht dem Empfänger (07, 22, 37, 53) zuzuführen.
申请公布号 DE102014215193(A1) 申请公布日期 2016.02.04
申请号 DE201410215193 申请日期 2014.08.01
申请人 CARL ZEISS SPECTROSCOPY GMBH 发明人 MARGRAF, JÖRG;MONDRY, JENS
分类号 G01N21/55;G01N21/47 主分类号 G01N21/55
代理机构 代理人
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