| 摘要 |
스테이지 (WST) 의 구동 중에, 인코더 시스템의 X 인코더와 Y 인코더를 적어도 각 1 개 포함하는 3 개의 인코더 (Enc1, Enc2 및 Enc3) 에 의해 스테이지 (WST) 의 이동면 내의 위치 정보가 계측되고, 제어 장치에 의해 스테이지 (WST) 의 이동면 내의 위치가 전환 전후에서 유지되도록, 스테이지 (WST) 의 이동면 내의 위치 정보의 계측에 사용하는 인코더가 인코더 (Enc1, Enc2 및 Enc3) 로부터 인코더 (Enc4, Enc2 및 Enc3) 로 전환된다. 이 때문에, 스테이지의 위치 제어에 사용하는 인코더의 전환이 실시되고 있음에도 불구하고, 전환 전후에서 스테이지의 이동면 내의 위치가 유지되어, 정확한 연결이 가능해진다. |
