| 发明名称 | 用于玻璃板半导体涂覆的系统和方法 | ||
| 摘要 | 用于在玻璃板上涂覆半导体材料的系统(20)和方法通过将在其上端直立悬挂的玻璃板输送通过具有包括真空室(24)的外壳(22)的系统(20)来执行。玻璃板在传送装置(42)上输送通过入口负荷锁定站(26)，进入外壳真空室(24)，通过加热站(30)和外壳(22)的至少一个沉积站(32，34)，并在通过出口负荷锁定站(28)从系统出来之前到达冷却站(36)。所得到的涂覆有半导体的玻璃板(G)具有在涂覆处理期间形成的夹具标记(44′)。 | ||
| 申请公布号 | CN101646800A | 申请公布日期 | 2010.02.10 |
| 申请号 | CN200880010147.1 | 申请日期 | 2008.01.28 |
| 申请人 | 威拉德&凯尔西太阳能集团有限责任公司 | 发明人 | 詹姆士·E·海德;迈克尔·J·齐卡克;小里奥·阿多丽娜;加里·T·法伊科施 |
| 分类号 | C23C16/00(2006.01)I | 主分类号 | C23C16/00(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京安信方达知识产权代理有限公司 | 代理人 | 吴 艳;郑 霞 |
| 主权项 | 1.一种用于在玻璃板上涂覆半导体材料的系统，其包括：细长外壳，其界定真空室；入口负荷锁定站和出口负荷锁定站，所述入口负荷锁定站用于进入所述真空室，所述出口负荷锁定站用于从所述真空室出来；所述外壳包括用于加热玻璃板的加热站和用于为沉积提供半导体材料的至少一个沉积站；输送机，其用于支撑直立玻璃板的上端，并将直立玻璃板输送通过所述系统，首先进入并通过所述入口负荷锁定站，进入所述真空室，然后通过用于加热玻璃板的所述加热站，其后通过用于在玻璃板上沉积半导体材料的所述沉积站，并且最后通过所述出口负荷锁定站从所述真空室出来，以用于运送涂覆的玻璃板。 | ||
| 地址 | 美国俄亥俄州 | ||