POLYMER FOR PHOTORESIST AND PHOTORESIST COMPOSITION INCLUDING THE SAME
摘要
<p>상기 화학식 1에서, R은 각각 독립적으로 수소 또는 메틸기이고, R은 탄소수 5 내지 30의 단일환형(mono-cyclic) 또는 다환형(multi-cyclic)의 벌키 포화탄화수소이며, R, R, R는 수소 또는 탄소수 1 내지 6의 선형 또는 환형의 탄화수소이고 R는 탄소수 1 내지 20의 사슬형 또는 고리형 알킬기이다.</p>