一种带氧化钇涂层的高耐腐蚀性气体分配器的生产工艺

摘要

一种带氧化钇涂层的高耐腐蚀性气体分配器的生产工艺，加工步骤如下：a.留余量多次精加工来保证零件形位公差；b.通过可调节的膨胀销来定位，以保证小孔位置精度；c.通过随机钻孔来保证1009个气孔均匀性；d.机加工序与表面处理工序的合理安排，减少加工及表面处理难度；e.定制非标刀具来加工特定槽；f.出气面喷砂处理，粗糙度达到Ra5-7；g.零件整体覆盖氧化铝，膜厚0.05-0.07mm；h.出气面喷涂氧化钇，粗糙度达到Ra6-8。本发明解决了铝合金材质的气体分配器因阳极氧化处理孔位置度,均匀性难以保证的加工等难题。确保了加工后的产品具有很高的化学稳定性和较高的硬度，防腐、耐磨、绝缘等性能。

主权项

一种带氧化钇涂层的高耐腐蚀性气体分配器的生产工艺，其特征在于：对需加工的零件，根据设计图纸，加工步骤如下：a.留余量多次精加工来保证零件形位公差；b.通过可调节的膨胀销来定位，以保证小孔位置精度；c.通过随机钻孔来保证1009个气孔均匀性；d.机加工序与表面处理工序的合理安排，减少加工及表面处理难度；e.定制非标刀具来加工特定槽；f.出气面喷砂处理，粗糙度达到Ra5‑7；g.零件整体覆盖氧化铝，膜厚0.05‑0.07mm；h.出气面喷涂氧化钇，粗糙度达到Ra6‑8；所述的步骤a.是根据零件本身特征，制定多步骤开粗工艺；先将厚度尺寸留量加工，平行度、平面度达到0.05mm以内；然后将厚度方向两个面的凹槽留余量开粗，最后将零件厚度再次进行精加工，确保平面度、平行度达到0.02以内；所述的步骤b.此零件有1009个气孔，因台阶状，分两次加工来满足，为保证精度，采用膨胀式定位销定位；所述的步骤d.外表面需要在喷砂后进行氧化处理；先将零件外轮廓留量加工出，待零件整体加工后，将氧化层使用机加工的方法去除，以减少表面处理工序；所述的步骤e.由于O‑ring槽需要绝佳的密封性，而且有其特殊的燕尾状结构,根据其使用要求及特殊结构设计出专用刀具, 保证底面的粗糙度，以达到零件的密封要求；所述的步骤f.喷砂前将零件脱脂处理，保持干燥，不需要喷砂的区域进行保护措施，喷砂时用压缩空气需要进行脱脂和除水，选用#42白钢玉砂，将空气压力调至恰当的压力值，打开空气泵，将喷砂面向上放入喷砂室，喷嘴与零件表面呈45°角进行喷射，粗糙度达到Ra5‑7；所述的步骤g.零件整体氧化前脱脂清洗，吹干，对非氧化区域进行保护；然后挂装，确保挂具连接牢靠；根据电镀单调配好电源及溶液浓度，然后将零件放入电镀槽内进行化学浸蚀，氧化膜厚度达到0.05‑0.07mm；所述的步骤h.出气面喷涂氧化钇前进行脱脂清洗，保护，挂装，喷嘴呈45°斜角对零件进行喷涂，直至粗糙度达到Ra6‑8。