一种驻极体电容式超声传感器及其制作方法

摘要

本发明公开了一种驻极体电容式超声传感器，包括低阻衬底、驻极体材料层、绝缘层、支撑层、振动薄膜、上电极。其中，在支撑层中形成圆形或其他形状空腔二维阵列，成排、列对齐分布；在振动薄膜上沉积金属作为上电极，该上电极为图形阵列，并且与衬底空腔阵列的图形一一对应分布，彼此连接在一起。本发明利用驻极体材料提供CMUT正常工作时需要的直流电场，实现无需外加直流偏置电压的新型电容式超声传感器结构，具有低功耗、微型化、可靠性高、安全性好等优点。

主权项

一种驻极体电容式超声传感器，包括驻极体材料层、支撑层、振膜和上电极，所述支撑层位于所述驻极体材料层之上，所述上电极为在所述振膜上沉积导电材料形成的图形阵列，其特征在于，在所述支撑层中形成二维空腔阵列结构，在所述二维空腔阵列结构之上由SOI外延片通过键合技术形成所述振膜。