| 主权项 |
一种位移测量系统，主要包括：一激光器，用以输出沿Z方向的双频激光；一数据采集及处理单元，用以接收激光器输出的干涉激光并进行数据处理；其特征在于，进一步包括一回馈单元，所述回馈单元包括一第一反射镜、第二反射镜以及一第三反射镜，所述第一反射镜与所述第二反射镜相对且间隔设置，所述第一反射镜具有一第一表面，所述第一表面包括一入射区、第一反射区、第一引导区、第二引导区；所述入射区具有多个沿X方向延伸的第三凹槽；所述第一反射区具有多个沿X方向延伸的第四凹槽，所述第四凹槽与所述第三凹槽并排设置；所述第一引导区、第一反射区以及所述第二引导区沿Y方向依次设置，所述第一引导区具有多个沿Y方向延伸的第五凹槽；所述第二引导区具有多个沿Y方向延伸的第六凹槽，所述第六凹槽与所述第五凹槽交错对应设置；所述第二反射镜具有一第二表面与所述第一表面面对设置，所述第二表面具有多个沿X方向延伸的第二凹槽；其中，激光器输出激光的方向为Z方向，与Z方向垂直的方向为相互垂直的X方向与Y方向；激光器入射的激光直接入射至所述入射区的第三凹槽，并经过第二凹槽的反射至所述第四凹槽，在所述第四凹槽与所述第二凹槽之间多次反射后入射至一第五凹槽，经过第五凹槽反射后再次入射至第四凹槽，并经过第四凹槽与第二凹槽的反射后入射至所述第六凹槽，经过一第六凹槽反射后入射至所述第二凹槽；所述第三反射镜反射从所述第二反射镜中所述第二凹槽入射的激光，并使所述激光经过所述第三反射镜反射后沿原光路返回激光器中形成激光回馈。 |
