发明名称 MAGNETRON REACTIVE SPUTTERING APPARATUS
摘要
申请公布号 JPH04337068(A) 申请公布日期 1992.11.25
申请号 JP19910107379 申请日期 1991.05.13
申请人 TOSHIBA CORP 发明人 WATANABE TOMOJI;MORISHIGE HAJIME
分类号 C23C14/35;H01L21/203;H01L21/31 主分类号 C23C14/35
代理机构 代理人
主权项
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