共路激光干涉仪

摘要

本发明涉及一种共路激光干涉仪，它包括激光器、偏振分光镜、反射镜、衍射光栅、偏振片、凸透镜和光电探测器，在激光器发出光束方向上放置偏振分光镜，偏振分光镜的分光面与激光器发出光束方向成45°；在偏振分光镜的分光面方向上的上侧和下侧分别放置反射镜和衍射光栅；在出射光的方向上依次放置偏振片、凸透镜和光电探测器，这三个元件的光轴方向与偏振分光镜的分光面成45°，与激光器发出光束方向成90°。本发明应用于纳米级和亚纳米级位移的测量。将激光多普勒技术与激光偏振干涉技术相结合，增强光路对外界环境的抗干扰能力，提高了激光干涉仪的测量分辨力和精度。

主权项

一种共路激光干涉仪，包括激光器、偏振分光镜、反射镜、衍射光栅、偏振片、凸透镜和光电探测器，其特征在于在激光器发出光束方向上放置偏振分光镜，偏振分光镜的分光面与激光器发出光束方向成45°；在偏振分光镜的分光面方向上的上侧和下侧分别放置反射镜和衍射光栅；在出射光的方向上依次放置偏振片、凸透镜和光电探测器，这三个元件的光轴方向与偏振分光镜的分光面成45°，与激光器发出光束方向成90°；所述的反射镜的镜面和衍射光栅的平面均与偏振分光镜的分光面相互垂直；所述的激光器和偏振片、凸透镜、光电探测器这三个元件分别位于偏振分光镜的分光面的左侧和右侧。