| 发明名称 | 石墨烯和金属互连 | ||
| 摘要 | 石墨烯和金属互连结构及其制造方法。使用石墨烯催化剂来生长多层石墨烯结构。所述石墨烯形成两个或多个通孔(16、36)或元件20或通孔和元件的组合之间的电连接30。通孔包括填充金属，其中填充金属36的至少一部分被势垒金属38包裹。所述元件可以是绕线轨迹、时钟信号源、电源、电磁信号源、接地端子、晶体管、微单元及其组合。使用石墨烯催化剂来从液体和固体碳源，通过在300℃到400℃之间的化学气相淀来生长石墨烯。所述石墨烯催化剂可以是包括镍、钯、钌、铱或铜的元素形式或合金。 | ||
| 申请公布号 | CN104885210A | 申请公布日期 | 2015.09.02 |
| 申请号 | CN201380065932.8 | 申请日期 | 2013.12.09 |
| 申请人 | 国际商业机器公司 | 发明人 | 鲍军静;G·伯尼拉;R·G·菲利皮;N·E·拉斯汀;A·H·希门;S·S·乔伊 |
| 分类号 | H01L21/768(2006.01)I;H01L21/3205(2006.01)I;H01L21/28(2006.01)I | 主分类号 | H01L21/768(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京市金杜律师事务所 11256 | 代理人 | 王茂华;吕世磊 |
| 主权项 | 一种互连结构包括：石墨烯连接器30；上通孔36，所述上通孔的下端与石墨烯连接器30的第一端相连；以及下通孔16，所述下通孔的顶端与石墨烯连接器30的第二端相连。 | ||
| 地址 | 美国纽约阿芒克 | ||