多晶硅锭的制备方法、多晶硅锭及多晶硅片

摘要

本发明涉及一种多晶硅锭的制备方法，包括以下步骤：在坩埚底部铺设熔点、密度大于硅且不与硅液及坩埚发生反应的形核源，形成形核源层；在形核源层上方设置熔融状态的硅料；控制所述坩埚内的温度沿垂直于所述坩埚底部向上的方向逐渐上升，使得所述熔融状态的硅料在所述形核源上方形核结晶，生成晶体硅锭。由于形核源的熔点和密度均高于熔融硅，且不与硅液和坩埚发生反应，在铸锭形核后依然保持形核源本身的特性，因此可以重复利用。此外，还出一种由上述方法制备的多晶硅锭，及由该多晶硅锭为原料进行开方-切片-清洗后制得的多晶硅片。

主权项

一种多晶硅锭的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：在坩埚底部铺设熔点、密度大于硅且不与硅液及坩埚发生反应的形核源，形成形核源层；在形核源层上方设置熔融状态的硅料；控制所述坩埚内的温度沿垂直于所述坩埚底部向上的方向逐渐上升，使得所述熔融状态的硅料在所述形核源上方形核结晶，生成晶体硅锭。