发明名称 |
多方向上反射的光源的采集系统和方法 |
摘要 |
根据本发明的光学检测系统可以配置成同时采集基底表面所反射的多方向上的光,因此克服了由基底表面外观的不准确或不完整的特征引起的反射强度变化,当仅从单一方向来采集光的时候,所述的反射强度会上升。一个这种系统包括一组光源和一图像采集设备配置成同时采集所述表面反射的至少两束光。所述图像采集设备同时采集的至少两束光具有与它们的反射传播路径不同的方向夹角。该光源组可以包括一组细线光源安置和配置成提供入射到所述表面的一束或者多束细线光。例如,两束细线光可以以与所述表面的一个垂直轴成不同的入射角被引向所述表面。 |
申请公布号 |
CN102412170B |
申请公布日期 |
2015.08.19 |
申请号 |
CN201110208025.7 |
申请日期 |
2011.07.13 |
申请人 |
联达科技设备私人有限公司 |
发明人 |
阿曼努拉·阿杰亚拉里 |
分类号 |
H01L21/67(2006.01)I;G01N21/95(2006.01)I |
主分类号 |
H01L21/67(2006.01)I |
代理机构 |
上海新天专利代理有限公司 31213 |
代理人 |
王敏杰 |
主权项 |
一种用于检测在检测中的物体的表面的装置,其特征在于,该装置包括:一个细线光源设备,所述细线光源设备被配置为同时引导细线光源的一个第一入射光束以一个第一入射角射向一个在检测中的物体的表面上的一个检测位置,和细线光源的一个第二入射光束以一个第二入射角射向所属检测位置,以分别产生细线光源的一个第一镜面反射光束和一个第二非镜面反射光束,所述第一镜面反射光束和所述第二非镜面反射光束沿着一个一致的光学行径路线从检测中的物体的表面反射离开,从而细线光源的第一镜面反射光束和第二非镜面反射光束从检测中的物体的表面反射后叠加;以及一个图像采集设备被配置成捕捉叠加后的细线光源的第一镜面反射光束和第二非镜面反射光束作为一个单一图像;其中,所述第一入射角和所述第二入射角是不同的,且都被定义为与检测中的物体的表面的垂直轴相关的。 |
地址 |
新加坡加冷盆地工业区#04-01,25加冷道 |