具有遮罩边缘的支撑环;SUPPORT RING WITH MASKED EDGE

摘要

提供用于半导体处理的支撑环。支撑环包含一环形主体，该环形主体由内边缘及外边缘来界定。该内边缘及该外边缘同心的绕着轴。该环形主体进一步包含第一侧、第二侧、及突起环状肩部，该突起环状肩部在该内边缘处由该环形主体的该第一侧延伸。该支撑环也包含位于该第一侧上的包覆，该包覆具有邻接该突起环状肩部的减低厚度区域之内区域。