| 摘要 |
<p>본 발명은 화학적 기상 증착장치의 진공챔버 내부로 화합물가스를 분사하는 노즐관에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 노즐관에서 분사되는 화합물가스가 진공챔버의 내부에 고르게 분사되어 플렉시블필름의 표면에 균일한 두께를 갖는 고기능성 박막(薄膜)이 형성될 수 있도록 한 발명에 관한 것이다. 전술한 본 발명의 특징은, 진공펌프(11)에 의하여 진공이 유지되는 진공챔버(10)의 내부에 장착된 노즐관(20)에서 화합물가스를 분사하여 모재(母材)에 박막을 형성하는 화학적 기상 증착장치에 있어서, 상기 노즐관(20)은, 화합물가스가 공급되는 내관(21)과 외부에 씌워지는 외관(22)으로 구성되고, 내·외관(21)(22)들 사이에는 양측이 막혀진 공간부(23)가 형성되며, 내관(21)에 뚫려진 미세 노즐공(21a)을 통해 분사된 화합물가스가 공간부(23)로 유입된 후 외관(22)의 노즐공(22a)을 통해 균일하게 분사되어 모재(1)에 박막을 형성할 수 있도록 한 것을 특징으로 하는 화학적 기상 증착장치용 가스분사 노즐관에 의하여 달성될 수 있는 것이다.</p> |
