| 发明名称 | 一种绑定式硅旋转靶材的制备方法 | ||
| 摘要 | 本发明公布了一种绑定式硅旋转靶材的制备方法，包括以下步骤：晶体硅管和不锈钢管的准备、套管和绑定。将制备的4或5个晶体硅管紧密套在不锈钢管上，在晶体硅管和不锈钢管之间的套管缝隙处涂敷一种黏合剂进行绑定，使它们成为一个整体，联结牢固无缝隙。该方法较热等静压法和喷涂法成本更低，得到的靶材密度高、性能好，制备方法过程简单，易于操作，在真空环境下进行不会产生粉体和污染颗粒物，安全环保。 | ||
| 申请公布号 | CN104746029A | 申请公布日期 | 2015.07.01 |
| 申请号 | CN201510139806.3 | 申请日期 | 2015.03.27 |
| 申请人 | 天津市兆益金科科技有限公司 | 发明人 | 张步晓;张宁;李政 |
| 分类号 | C23C14/35(2006.01)I | 主分类号 | C23C14/35(2006.01)I |
| 代理机构 | 天津市新天方有限责任专利代理事务所 12104 | 代理人 | 张强 |
| 主权项 | 一种绑定式硅旋转靶材的制备方法，其特征在于包括以下步骤：晶体硅管和不锈钢管的准备、套管和绑定。 | ||
| 地址 | 300112 天津市西青区泰和都市工业园营瑞路26号 | ||