发明名称 |
导电薄膜、其制备方法及应用 |
摘要 |
一种导电薄膜,包括层叠的ZnO:xM<sup>3+</sup>层及MeO层,其中,ZnO:xM<sup>3+</sup>层是铝掺杂氧化锌,镓掺杂氧化锌或铟掺杂氧化锌的薄膜层,MeO层为氧化钙,氧化锶或氧化钡的薄膜层,其中,x为0~0.08,具有较高的透光和低的电阻,薄膜做成纳米线的集合,相对于普通的透明导电薄膜,还具有散射效率,提高了有机电致发光器件的出光效率。上述导电薄膜通过在ZnO:xM<sup>3+</sup>层的表面沉积MeO层制备双层导电薄膜,该薄膜具有较低的表面功函数,可作为阴极材料使用,提高发光效率。本发明还提供一种导电薄膜的制备方法及应用。 |
申请公布号 |
CN104681732A |
申请公布日期 |
2015.06.03 |
申请号 |
CN201310634113.2 |
申请日期 |
2013.11.30 |
申请人 |
海洋王照明科技股份有限公司;深圳市海洋王照明技术有限公司;深圳市海洋王照明工程有限公司 |
发明人 |
周明杰;陈吉星;黄辉;王平 |
分类号 |
H01L51/52(2006.01)I;H01L51/56(2006.01)I;C23C14/08(2006.01)I;C23C14/28(2006.01)I |
主分类号 |
H01L51/52(2006.01)I |
代理机构 |
广州三环专利代理有限公司 44202 |
代理人 |
郝传鑫;熊永强 |
主权项 |
一种导电薄膜,其特征在于,包括层叠的ZnO:xM<sup>3+</sup>层及MeO层,其中,ZnO:xM<sup>3+</sup>层是铝掺杂氧化锌,镓掺杂氧化锌或铟掺杂氧化锌的薄膜层,MeO层为氧化钙,氧化锶或氧化钡的薄膜层,其中,x为0~0.08。 |
地址 |
518000 广东省深圳市南山区南海大道海王大厦A座22层 |