工業用誘電体バリア放電発生器用途向けの多目的ゼロ電圧スイッチ共振インバータ

摘要

【課題】オゾン発生器のための電力系統及び電力制御技術、並びに他の誘電体バリア放電システムを提供すること。【解決手段】例えば、オゾンを生成するために用いられる誘電体バリア放電システムのための電力系統であって、フルブリッジのインバータ段及び誘電体バリア放電セルスタックに電力を供給するための信号を出力する並列共振タンクを含む。上記インバータ段は、パルス幅変調（ＰＷＭ）と周波数変調（ＦＭ）との組み合わせにより制御され、すべての負荷条件（全負荷条件から軽負荷条件まで）においてソフトスイッチングを可能にする。電流制御ループ誤差増幅補償器は、上記インバータ段に対して上記スイッチング信号を生成する位相シフトＰＷＭコントローラチップにデューティサイクル調整信号を提供することができる。上記ＦＭを提供するために、フィードバック信号を利用して、上記ＰＷＭコントローラチップのクロック周波数時定数を調整することもできる。一実施形態において、上記フィードバック信号は、上記電流制御ループ誤差増幅補償器の出力に接続された反転増幅器の出力である。【選択図】図３