发明名称 DOUBLE PASS INTERFEROMETRIC ENCODER SYSTEM
摘要 <p>인코더 헤드는 하나 이상의 컴포넌트로서: i) 제 1 입사 빔을 상기 인코더 스케일에 대하여 제 1 입사각에서 상기 회절형 인코더 스케일로 디렉팅하도록; ii) 제 1 복귀빔을 제 1 복귀각에서 인코더 스케일로부터 수광하되, 제 1 복귀각은 제 1 입사각과 상이하도록; iii) 제 1 복귀빔을 제 2 입사 빔으로서 제 2 입사각에서 인코더 스케일로 리디렉팅하도록; 그리고 iv) 제 2 복귀빔을 제 2 복귀각에서 인코더 스케일로부터 역수광(receive back)하되, 제 2 복귀각은 제 2 입사각과 상이하도록 구현되는, 하나 이상의 컴포넌트를 포함하고, 제 1 입사각과 제 2 입사각 사이의 차분은 제 1 입사각 및 제 1 복귀각 사이의 차분보다 더 적고 제 2 입사각과 제 2 복귀각 사이의 차분보다 더 적다.</p>
申请公布号 KR101521146(B1) 申请公布日期 2015.05.18
申请号 KR20147015505 申请日期 2012.11.08
申请人 发明人
分类号 G01B9/02;G01B11/00;G01D5/38 主分类号 G01B9/02
代理机构 代理人
主权项
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