发明名称 |
光学的位置测量装置 |
摘要 |
本发明涉及一种光学的位置测量装置,包括量具和能相对所述量具沿着至少一个测量方向运动的扫描单元,其中,在量具与扫描单元之间设计扫描光路,该扫描光路用于产生与移动相关的信号。保护罩布置成能沿着垂直于量具-平面的轴线运动,使得在至少一种工作模式下,该保护罩尽可能地环绕扫描单元与量具之间的扫描光路。 |
申请公布号 |
CN104515467A |
申请公布日期 |
2015.04.15 |
申请号 |
CN201410525165.0 |
申请日期 |
2014.10.08 |
申请人 |
约翰内斯﹒海德汉博士有限公司 |
发明人 |
沃尔夫冈·霍尔扎普费尔;约尔格·德雷谢尔;马库斯·迈斯纳 |
分类号 |
G01B11/00(2006.01)I |
主分类号 |
G01B11/00(2006.01)I |
代理机构 |
北京康信知识产权代理有限责任公司 11240 |
代理人 |
余刚;李慧 |
主权项 |
一种光学位置测量装置,具有量具和能相对所述量具沿着至少一个测量方向运动的扫描单元,其中,在所述量具与所述扫描单元之间设计扫描光路,所述扫描光路用于产生与移动相关的信号,其特征在于,保护罩布置成能沿着垂直于量具平面的轴线运动,使得在至少一种工作模式下,所述保护罩尽可能地环绕所述扫描单元与所述量具之间的所述扫描光路。 |
地址 |
德国特劳恩罗伊特 |