摘要 |
Die vorliegende Erfindung bezieht sich auf ein Verfahren zum Herstellen von Festkörperschichten. Das erfindungsgemäße Verfahren umfasst bevorzugt die Schritte: Bereitstellen eines Festkörpers (2) zum Abtrennen mindestens einer Festkörperschicht (4), Erzeugen von Defekten mittels mindestens einer Strahlungsquelle (18), insbesondere einem Laser, in der inneren Struktur des Festkörpers zum Vorgeben einer Rissauslösestelle, ausgehend von der die Festkörperschicht (4) vom Festkörper (2) abgetrennt wird und/oder Erzeugen von Defekten mittels mindestens der Strahlungsquelle (18), insbesondere einem Laser, in der inneren Struktur des Festkörpers (2) zum Vorgeben einer Rissführung, entlang der die Festkörperschicht (4) vom Festkörper (2) abgetrennt wird, Anordnen einer Aufnahmeschicht (10) zum Halten der Festkörperschicht (4) an dem Festkörper (2), thermisches Beaufschlagen der Aufnahmeschicht (10) zum, insbesondere mechanischen, Erzeugen von Spannungen in dem Festkörper (2), wobei sich durch die Spannungen ein Riss ausgehend von der Rissauslösestelle und/oder entlang der Rissführung in dem Festkörper (2) ausbreitet, der die Festkörperschicht (4) von dem Festkörper (2) abtrennt. |