| 摘要 |
기판의 표면에 불산을 공급하여, 상기 표면에 형성되어 있는 자연 산화막을 부식시켜 제거함으로써, 기판의 표면에는 실리콘이 노출된다. 이어서, 기판의 표면에 알코올류의 린스액을 공급하여 상기 표면으로부터 불산을 씻어낸다. 그 후, 기판의 표면에 도펀트를 함유하는 약액인 도펀트액을 공급한다. 수소 종단되어 있지 않은 실리콘이 노출된 기판의 표면에 도펀트액이 접촉함으로써, 상기 표면에 도펀트를 포함하는 단분자층의 박막을 단시간에 형성할 수 있다. |
