一种有效控制晶圆生产过程中生产周期失控的方法

摘要

本发明涉及半导体制造领域，尤其涉及一种有效控制晶圆生产过程中生产周期失控的方法。本发明提出一种有效控制晶圆生产过程中生产周期失控的方法，通过采用紧迫性系数对已送达至某一站点的所有lot重新赋予优先级，并根据该重新赋予的优先级依次对每个lot进行该站点的制程工艺，在提高产能效率的基础，有效控制产品生产周期的失控，进而提升产品的准时交货率。

主权项

一种有效控制晶圆生产过程中生产周期失控的方法，其特征在于，于一站点上，对已送达的所有lot进行组别划分；确认每个lot的交货期；计算每个lot的紧迫性系数；根据所述紧迫性系数重新赋予上述每个lot的优先级；根据优先级依次对每个lot进行该站点的制程工艺；其中，lot的优先级级别数与该lot的紧迫性系数成反比；采用公式C＝(D‑D₂)/(S‑X)计算每个lot的紧迫性系数，C为lot的紧迫性系数，D为lot的交货期，D₂为当前日期，S为lot的制程总站点数，X为lot已完成站点数。