| 摘要 |
本発明の課題は、高精度の位置合わせが可能なステンシル形成と、エッチングとにより、基板上に数１００μｍ以上の長さのスロープを高精度に形成でき、更に、スロープと共に他のパターンの集積が化可能な、スロープ及びその形成方法を提供することにある。本発明では、基板１上に、有限の厚みを有する支持パターン２を形成し、少なくとも支持パターン２の近傍では支持パターン２の上面のみに接し、一部がその上面からはみ出すように、支持パターンに感光性フィルム３を貼付し、支持パターン２を含むか、あるいは支持パターン２の境界を跨ぐ領域を露光し、感光性フィルム３を現像して、感光性フィルム３の庇パターン３０１を形成し、基板１をドライエッチングし、支持パターン２と庇パターン３０１とを除去する。（図１） |
