发明名称 床台同步定位补偿系统
摘要
申请公布号 TWI475635 申请公布日期 2015.03.01
申请号 TW101116261 申请日期 2012.05.07
申请人 辅佳材料科技股份有限公司 发明人 潘重德;许又升;吕耀东
分类号 H01L21/68 主分类号 H01L21/68
代理机构 代理人 林火泉 台北市大安区忠孝东路4段311号12楼之1
主权项 一种床台同步定位补偿系统,包括:至少一床台定位装置,包含:至少一移动平台;至少一X轴定位模组,设于移动平台,系包含一X轴驱动组,系抵靠于一工件之侧边,并带动该工件定位于该移动平台之定位点;至少一Y轴定位模组,设于该移动平台,系包含一Y轴驱动组,系抵靠于该工件之另一侧边,并配合X轴驱动组以带动该工件定位于该移动平台之定位点;及至少二量测元件,分别设于该X轴定位模组及该Y轴定位模组上,系根据该X轴定位模组及该Y轴定位模组之作动来量测出该工件与该定位点间的相对位置,进而取得该工件之一基准点;及一控制模组,系连接该床台定位装置,并根据该工件之该基准点来控制该移动平台移动,据以补偿定位误差。
地址 台中市大雅区科雅路28号5楼