主权项 |
一种床台同步定位补偿系统,包括:至少一床台定位装置,包含:至少一移动平台;至少一X轴定位模组,设于移动平台,系包含一X轴驱动组,系抵靠于一工件之侧边,并带动该工件定位于该移动平台之定位点;至少一Y轴定位模组,设于该移动平台,系包含一Y轴驱动组,系抵靠于该工件之另一侧边,并配合X轴驱动组以带动该工件定位于该移动平台之定位点;及至少二量测元件,分别设于该X轴定位模组及该Y轴定位模组上,系根据该X轴定位模组及该Y轴定位模组之作动来量测出该工件与该定位点间的相对位置,进而取得该工件之一基准点;及一控制模组,系连接该床台定位装置,并根据该工件之该基准点来控制该移动平台移动,据以补偿定位误差。 |