发明名称 |
无碱玻璃基板及无碱玻璃基板的减薄方法 |
摘要 |
本发明涉及一种无碱玻璃基板,其为通过氢氟酸(HF)蚀刻处理减薄了5μm以上的、板厚为0.4mm以下的无碱玻璃基板,其比模量为32MNm/kg以上,光弹性常数为31nm/MPa/cm以下,该基板的玻璃的应变点为710℃以上,50~350℃下的平均热膨胀系数为30×10<sup>-7</sup>~43×10<sup>-7</sup>/℃,粘度达到10<sup>2</sup>dPa·s时的温度T<sub>2</sub>为1710℃以下,粘度达到10<sup>4</sup>dPa·s时的温度T<sub>4</sub>为1320℃以下,该玻璃的组成以基于氧化物的摩尔%计含有:SiO<sub>2</sub> 66~70、Al<sub>2</sub>O<sub>3</sub> 12~15、B<sub>2</sub>O<sub>3</sub> 0~1.5、MgO大于9.5且为13以下、CaO 4~9、SrO 0.5~4.5、BaO 0~1、ZrO<sub>2</sub> 0~2,MgO+CaO+SrO+BaO为17~21,MgO/(MgO+CaO+SrO+BaO)为0.40以上,MgO/(MgO+CaO)为0.40以上,MgO/(MgO+SrO)为0.60以上。 |
申请公布号 |
CN104334507A |
申请公布日期 |
2015.02.04 |
申请号 |
CN201380028321.6 |
申请日期 |
2013.05.30 |
申请人 |
旭硝子株式会社 |
发明人 |
德永博文;辻村知之;西泽学;小池章夫 |
分类号 |
C03C3/091(2006.01)I;C03C3/087(2006.01)I;C03C3/093(2006.01)I;C03C15/00(2006.01)I |
主分类号 |
C03C3/091(2006.01)I |
代理机构 |
中原信达知识产权代理有限责任公司 11219 |
代理人 |
于洁;王海川 |
主权项 |
一种无碱玻璃基板,其为通过氢氟酸(HF)蚀刻处理减薄了5μm以上的、板厚为0.4mm以下的无碱玻璃基板,所述无碱玻璃基板为下述无碱玻璃,减薄后的所述无碱玻璃基板的比模量为32MNm/kg以上,光弹性常数为31nm/MPa/cm以下,所述无碱玻璃的应变点为710℃以上,玻璃粘度达到10<sup>2</sup>dPa·s时的温度T<sub>2</sub>为1710℃以下,玻璃粘度达到10<sup>4</sup>dPa·s时的温度T<sub>4</sub>为1320℃以下,以基于氧化物的摩尔%计含有:<img file="FDA0000619421050000011.GIF" wi="940" he="711" />MgO+CaO+SrO+BaO为17~21,MgO/(MgO+CaO+SrO+BaO)为0.40以上,MgO/(MgO+CaO)为0.40以上,MgO/(MgO+SrO)为0.60以上。 |
地址 |
日本东京 |