发明名称 无碱玻璃基板及无碱玻璃基板的减薄方法
摘要 本发明涉及一种无碱玻璃基板,其为通过氢氟酸(HF)蚀刻处理减薄了5μm以上的、板厚为0.4mm以下的无碱玻璃基板,其比模量为32MNm/kg以上,光弹性常数为31nm/MPa/cm以下,该基板的玻璃的应变点为710℃以上,50~350℃下的平均热膨胀系数为30×10<sup>-7</sup>~43×10<sup>-7</sup>/℃,粘度达到10<sup>2</sup>dPa·s时的温度T<sub>2</sub>为1710℃以下,粘度达到10<sup>4</sup>dPa·s时的温度T<sub>4</sub>为1320℃以下,该玻璃的组成以基于氧化物的摩尔%计含有:SiO<sub>2</sub> 66~70、Al<sub>2</sub>O<sub>3</sub> 12~15、B<sub>2</sub>O<sub>3</sub> 0~1.5、MgO大于9.5且为13以下、CaO 4~9、SrO 0.5~4.5、BaO 0~1、ZrO<sub>2</sub> 0~2,MgO+CaO+SrO+BaO为17~21,MgO/(MgO+CaO+SrO+BaO)为0.40以上,MgO/(MgO+CaO)为0.40以上,MgO/(MgO+SrO)为0.60以上。
申请公布号 CN104334507A 申请公布日期 2015.02.04
申请号 CN201380028321.6 申请日期 2013.05.30
申请人 旭硝子株式会社 发明人 德永博文;辻村知之;西泽学;小池章夫
分类号 C03C3/091(2006.01)I;C03C3/087(2006.01)I;C03C3/093(2006.01)I;C03C15/00(2006.01)I 主分类号 C03C3/091(2006.01)I
代理机构 中原信达知识产权代理有限责任公司 11219 代理人 于洁;王海川
主权项 一种无碱玻璃基板,其为通过氢氟酸(HF)蚀刻处理减薄了5μm以上的、板厚为0.4mm以下的无碱玻璃基板,所述无碱玻璃基板为下述无碱玻璃,减薄后的所述无碱玻璃基板的比模量为32MNm/kg以上,光弹性常数为31nm/MPa/cm以下,所述无碱玻璃的应变点为710℃以上,玻璃粘度达到10<sup>2</sup>dPa·s时的温度T<sub>2</sub>为1710℃以下,玻璃粘度达到10<sup>4</sup>dPa·s时的温度T<sub>4</sub>为1320℃以下,以基于氧化物的摩尔%计含有:<img file="FDA0000619421050000011.GIF" wi="940" he="711" />MgO+CaO+SrO+BaO为17~21,MgO/(MgO+CaO+SrO+BaO)为0.40以上,MgO/(MgO+CaO)为0.40以上,MgO/(MgO+SrO)为0.60以上。
地址 日本东京