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发明名称 Substrate holding device
摘要
申请公布号 KR100832168(B1) 申请公布日期 2008.05.23
申请号 KR20067015977 申请日期 2006.08.08
申请人 发明人
分类号 B25J15/08;H01L21/683;B65G49/07;H01L21/677;H01L21/68;H01L21/687 主分类号 B25J15/08
代理机构 代理人
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