一种基于声光调制的非球面模具在机测量装置

摘要

一种基于声光调制的非球面模具在机测量装置，其包括：一个激光器、两个扩束系统、一个缩束系统、一块分光镜、一个转换透镜、两块光学平板、四个楔角很小的圆形光楔、一个高带宽声光偏转器、两个空间滤波器、两块反射镜、一个射频功率放大器、一个直接数字频率合成器(DDS)、一个CCD和一台计算机。在该装置中，DDS和CCD均与计算机连接，并由计算机控制。本实用新型通过计算机程序调节DDS频率控制字使干涉条纹高速变频，并采用多频时间序列相位解包裹方法进行条纹图处理；其条纹变频的速度达到几十纳秒／帧，因此可实现非球面光学模具的面形在机检测。

主权项

一种基于声光调制的非球面模具在机测量装置，其包括一激光器，其特征在于：沿激光器产生激光的水平前进方向依序设置光学扩束系统、分光镜、聚焦转换透镜、被测非球面模具；所述激光再次经过分光镜反射后形成第一垂直光路，在该垂直光路放置第一光学平板，激光通过第一光学平板后形成两条水平光路，在下面光路a中沿激光前进方向依序设置第一光楔、第二光楔；在上面光路b中沿激光前进方向先后放置第三光楔、第四光楔；在光楔和光楔后放置一高带宽声光偏转器，光路a与光路b均通过声光偏转器，声光偏转器与射频功率放大器连接，射频功率放大器与直接数字频率合成器DDS相连，而DDS与计算机相连，并由计算机控制；分别在光路a和b中，位于声光偏转器之后，根据光线出射角度放置空间滤波器和反射镜，在反射镜之后a光路中放置扩束系统，在b光路中放置缩束系统，在扩束系统与缩束系统后再放置第二光学平板；光路a与b通过第二光学平板后形成第二垂直光路，在该垂直光路沿激光前进方向放置CCD，CCD与计算机相连。