发明名称 |
一种带有真空稳压装置的切割系统 |
摘要 |
本实用新型公开了一种带有真空稳压装置的切割系统,包括切割机、抽真空设备以及连通切割机和抽真空设备的真空稳压装置,真空稳压装置包括中空且密封的壳体,壳体上设有与真空吸附件连通的进气口,与抽真空设备连通的出气口,以及位于进气口和出气口下方的出水口,壳体具有一倾斜的侧壁,在进气口下方形成导流面。本实用新型切割系统,特别添加真空稳压装置,使得由进气口进入的冷却液能够在重力作用下下落与气体分离,从而由下方出水口排出。不仅结构简单,加工方便,而且能够利用液体本身的属性达到稳压的目的,无其它能源消耗,成本较低,稳压效果明显,可大大提高切割系统的切割质量。尤其设置导流面可引导冷却液快速下落排出,增强稳压效果。 |
申请公布号 |
CN203973353U |
申请公布日期 |
2014.12.03 |
申请号 |
CN201420295863.1 |
申请日期 |
2014.06.05 |
申请人 |
苏州凯锝微电子有限公司 |
发明人 |
刘思佳 |
分类号 |
B24B27/06(2006.01)I;B24B41/00(2006.01)I |
主分类号 |
B24B27/06(2006.01)I |
代理机构 |
南京纵横知识产权代理有限公司 32224 |
代理人 |
董建林 |
主权项 |
一种带有真空稳压装置的切割系统,包括切割机以及与切割机相连的抽真空设备,所述抽真空设备与切割机的一真空吸附件连通,其特征是,还包括连通所述切割机和抽真空设备的真空稳压装置,所述真空稳压装置包括中空且密封的箱状、筒状或管状的壳体,所述壳体上设有与所述真空吸附件连通的进气口,与所述抽真空设备连通的出气口,以及位于所述进气口和出气口下方的出水口,所述壳体具有一倾斜的侧壁,在所述进气口下方形成导流面。 |
地址 |
215000 江苏省苏州市高新区珠江路525号 |