减少修正迭代次数的OPC方法

摘要

本发明提供了一种减少修正迭代次数的OPC方法，包括：执行OPC过程，经过原始迭代次数，得到原始OPC修正图形；对原始OPC修正图形进行验证；找出原始OPC修正图形与目标图形的差距为原始OPC修正量，并设定原始OPC修正的临界值；将原始OPC修正图形中原始OPC修正量超过原始OPC修正的临界值的目标图形进行标记；设定新的迭代次数，执行新的OPC迭代过程，并在第一次迭代中，将原始OPC修正量赋值于标记的目标图形；得到并验证新的OPC修正图形；判断新的OPC修正图形的验证结果是否在误差标准内；是，则新的迭代次数为新的OPC的迭代次数；否则，使新的迭代次数再加1，并重新执行新的OPC过程，直至新的OPC的验证结果在误差标准内。从而保证了OPC精度和节约了时间。

主权项

一种减少修正迭代次数的OPC方法，其特征在于，包括以下步骤：步骤01：执行OPC过程，经过一定的原始迭代次数后，得到原始OPC修正图形；并对原始OPC修正图形进行验证，得到验证结果；步骤02：找出原始OPC修正图形与目标图形的差距为原始OPC修正量，并设定原始OPC修正的临界值；步骤03：将原始OPC修正图形中的原始OPC修正量超过原始OPC修正的临界值的目标图形进行标记；步骤04：设定新的迭代次数，执行新的OPC迭代过程；其中，在第一次迭代中，将所述原始OPC修正量赋值于所述标记的目标图形；步骤05：得到新的OPC修正图形，并验证新的OPC修正图形，得到验证结果；步骤06：设定新的OPC修正图形的验证结果的误差标准，并判断新的OPC修正图形的验证结果是否在误差标准内；步骤07：所述新的OPC验证结果在所述误差标准内，则所述新的迭代次数为所述新的OPC的迭代次数；否则，使所述新的迭代次数再加1，并重新执行新的OPC过程，直至所述新的OPC的验证结果在所述误差标准内；步骤08：结束新的OPC过程。