波长可变干涉滤波器、滤光器设备、光模块以及电子设备

摘要

本发明提供了一种波长可变干涉滤波器、滤光器设备、光学模块及电子设备。该波长可变干涉滤波器（5）具备一对基板（51、52）；设置在这些基板上的一对反射膜（54、55）；第一电极（561）；第二电极（562）；设置在第一基板（51）上、从第一电极起一直设置到第一基板的外周缘侧的第一导通电极（563）；设置在第二基板（52）上、与第一导通电极导通的第二导通电极（564）；以及接合基板的接合面的接合层。第一基板具有与第一导通电极与第二导通电极接触的接触面相对的第一导通电极面（516），第二基板具有与上述接触面相对的第二导通电极面（564A），从第一导通电极面到第二导通电极面的最小距离D1与从第一接合面（515）到第二接合面（524）的最小距离D2不同。

主权项

一种波长可变干涉滤波器，其特征在于，具备：第一基板；第二基板，所述第二基板与所述第一基板相对；第一反射膜，所述第一反射膜设置在所述第一基板上；第二反射膜，所述第二反射膜设置在所述第二基板上，与所述第一反射膜相对；第一电极，所述第一电极设置在所述第一基板上；第一导通电极，所述第一导通电极设置在所述第一基板上，从所述第一电极起一直设置到比所述第一电极更位于所述第一基板的外周缘侧；第二电极，所述第二电极设置在所述第二基板上，与所述第一电极相对；第二导通电极，所述第二导通电极设置在所述第二基板上，通过所述第一导通电极与所述第一电极电连接；以及接合层，所述接合层接合所述第一基板的第一接合面和与所述第一接合面相对的所述第二基板的第二接合面，所述第一基板具有与所述第一导通电极与所述第二导通电极接触的接触面相对的第一导通电极面，所述第二基板具有与所述接触面相对的第二导通电极面，从所述第一导通电极面到所述第二导通电极面的最小距离与从所述第一接合面到所述第二接合面的最小距离不同。