发明名称 |
压印用固化性组合物、图案形成方法和图案 |
摘要 |
本发明提供压印用固化性组合物,所述压印用固化性组合物在固化膜的表面粗糙度方面被改善。一种压印用固化性组合物,包含聚合性化合物(A)、聚合引发剂(B)和非聚合性化合物(C),所述非聚合性化合物(C)包含:至少一种含有20质量%以上的氟原子的表面活性剂(C1),和至少一种含有3质量%以上且低于20质量%的氟原子和/或5质量%以上且低于40质量%的硅原子并且具有1,000至100,000的重均分子量(Mw)的聚合物(C2)。 |
申请公布号 |
CN103814427A |
申请公布日期 |
2014.05.21 |
申请号 |
CN201280045728.5 |
申请日期 |
2012.09.06 |
申请人 |
富士胶片株式会社 |
发明人 |
榎本雄一郎;儿玉邦彦;樽谷晋司 |
分类号 |
H01L21/027(2006.01)I;B29C59/02(2006.01)I;C08F2/44(2006.01)I |
主分类号 |
H01L21/027(2006.01)I |
代理机构 |
中科专利商标代理有限责任公司 11021 |
代理人 |
陈平 |
主权项 |
一种压印用固化性组合物,所述压印用固化性组合物包含聚合性化合物(A)、聚合引发剂(B)和非聚合性化合物(C),所述非聚合性化合物(C)包含:至少一种含有20质量%以上的氟原子的表面活性剂(C1),和至少一种含有3质量%以上且低于20质量%的氟原子和/或5质量%以上且低于40质量%的硅原子并且具有1,000至100,000的重均分子量(Mw)的聚合物(C2)。 |
地址 |
日本东京都 |