发明名称 A SEMICONDUCTOR SUBSTRATE AND METHOD OF MANUFACTURING
摘要 <p>A method for forming a substrate includes forming a base layer comprising a Group III-V material on a substrate, cooling the base layer and inducing cracks in the base layer, and forming a bulk layer comprising a Group III-V material on the base layer after cooling.</p>
申请公布号 KR20140056224(A) 申请公布日期 2014.05.09
申请号 KR20147001910 申请日期 2012.06.27
申请人 SAINT-GOBAIN CRISTAUX ET DETECTEURS 发明人 BEAUMONT BERNARD;FAURIE JEAN PIERRE
分类号 H01L21/20;H01L33/00 主分类号 H01L21/20
代理机构 代理人
主权项
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