一种多通道滤光微透镜阵列的制作方法

摘要

本发明公开了一种多通道滤光微透镜阵列的制作方法，用不同颜色的光阻剂，结合传统的光刻法在基板上制作好具有滤光功能的滤光层，然后直接在该滤光层处以热熔法制作凸型微透镜阵列，使得该凸型微透镜集成滤光功能，而不需要另外的滤光片结构，实现了紧凑型多通道滤光微透镜的研制。本发明具有多个光通道，每个通道能独立获取对应波段的图像信息。由于采用光刻技术，配合第一掩膜板，也避免了滤光片与微透镜阵列对准的问题。在基板上各凸型微透镜之间增加了一层光阻挡层，可以减少入射杂散光和透镜之间的影响。本凸型微透镜阵列可以应用于多谱成像系统中，实现单色成像和彩色重构；同时本凸型微透镜阵列结构紧凑，也有利于多谱成像系统的小型化。

主权项

一种多通道滤光微透镜阵列的制作方法，其特征在于，包括以下步骤：A.取表面平整、透光率高的玻璃片作为基板，清洗烘干后，在基板表面设置不透光的光阻挡层，光阻挡层上设置多个圆形的透光孔，所述基板对应各透光孔形成多个透光通道；B.分别在基板表面的各透光孔内涂覆不同颜色的光阻剂，光阻剂固化后在各透光通道的表面形成滤光层；C.所述基板上在滤光层的外侧涂覆正性光刻胶，烘干后置于第一掩膜板下方进行紫外曝光，所述第一掩膜板包括对应各透光通道的不透光区域和对应光阻挡层的透光区域；D.将曝光后的基板放入显影液中显影，曝光过的正性光刻胶会在显影液下溶解去除，而没有曝光的正性光刻胶会保留下来并在基板表面形成多个圆柱形凸台；E.清洗烘干后将基板置于烘台上进行热熔，所述圆柱形凸台会在表面张力的作用下形成凸型微透镜。