发明名称 |
化合物半导体器件及其制造方法 |
摘要 |
本发明提供了一种化合物半导体器件及其制造方法,功率供应电路和高频放大器,其中化合物半导体器件包括:化合物半导体区域,具有其中形成阶梯的表面;第一电极,形成为位于阶梯的上表面的上方,上表面为非极性面;以及第二电极,沿着阶梯的侧表面形成为在竖直方向上与第一电极间隔开,侧表面是极性面。 |
申请公布号 |
CN103515429A |
申请公布日期 |
2014.01.15 |
申请号 |
CN201310180255.6 |
申请日期 |
2013.05.15 |
申请人 |
富士通株式会社 |
发明人 |
朱雷 |
分类号 |
H01L29/778(2006.01)I;H01L29/10(2006.01)I;H01L21/335(2006.01)I;H02M3/335(2006.01)I |
主分类号 |
H01L29/778(2006.01)I |
代理机构 |
北京集佳知识产权代理有限公司 11227 |
代理人 |
王萍;陈炜 |
主权项 |
一种化合物半导体器件,包括:化合物半导体区域,具有其中形成阶梯的表面;第一电极,形成在所述阶梯的上表面的上方,所述上表面为非极性面;以及第二电极,沿着所述阶梯的侧表面形成,从而在竖直方向上与所述第一电极间隔开,所述侧表面是极性面。 |
地址 |
日本神奈川县 |