发明名称 化合物半导体器件及其制造方法
摘要 本发明提供了一种化合物半导体器件及其制造方法,功率供应电路和高频放大器,其中化合物半导体器件包括:化合物半导体区域,具有其中形成阶梯的表面;第一电极,形成为位于阶梯的上表面的上方,上表面为非极性面;以及第二电极,沿着阶梯的侧表面形成为在竖直方向上与第一电极间隔开,侧表面是极性面。
申请公布号 CN103515429A 申请公布日期 2014.01.15
申请号 CN201310180255.6 申请日期 2013.05.15
申请人 富士通株式会社 发明人 朱雷
分类号 H01L29/778(2006.01)I;H01L29/10(2006.01)I;H01L21/335(2006.01)I;H02M3/335(2006.01)I 主分类号 H01L29/778(2006.01)I
代理机构 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 代理人 王萍;陈炜
主权项 一种化合物半导体器件,包括:化合物半导体区域,具有其中形成阶梯的表面;第一电极,形成在所述阶梯的上表面的上方,所述上表面为非极性面;以及第二电极,沿着所述阶梯的侧表面形成,从而在竖直方向上与所述第一电极间隔开,所述侧表面是极性面。
地址 日本神奈川县